1600W大能量532nm脉冲激光器应用 •多晶硅退火 •激光剥离LLO 1600W大能量532nm脉冲激光器性能 脉冲重复频率(kHz):10 平均功率(W):8 x 200 脉冲能量(mJ):8 x 20 散度(mrad,1/e2 FA):<4 M²:<30 功率稳定性(%,1σ):<0.1 偏振:线性 光纤传输:可选 安装要求 电源电压:三相N+E,220或400 VAC(±10%) 供电频率:50 或 60 Hz 额定功耗:60 kVA 冷却水:40L/min 11-17℃ 气体吹扫:氮气或空气(N5.0级,<1 ppm 激光器尺寸: 2200 x 2950 x 1750 mm (h w d) 控制架尺寸: 2200 x 1200 x 1750 mm (h w d) 环境条件: 温度15-32℃,相对湿度<60%(***大90%,无冷凝)