晶圆装卸操作台是zhuanye为4英寸晶圆装卸,晶圆搬运,晶圆取放等晶圆操作操纵设计的晶圆装卸定位台系统。它采用XYZ三维定位台和360度旋转台集成而成。

多自由度微操纵定位平台采用纳米旋转台和纳米定位平台搭建成的精密复杂定位系统,feichang适合纳米操纵,纳米操作,微纳操纵研究应用。

电动可调方形光阑是可调方孔光阑和可调狭缝,采用两个狭缝正交为用户提供可调可变的方形通光孔径。电动可调方形光阑采用SLC1730-S纳米线性定位器,在XY方向提供20mm行程的开口。这套电动可调方形光阑可适合高真空环境,孔径大小可根据用户要求定制。

纳米定位台系统采用纳米直线位移台和纳米旋转台搭建成各种纳米定位系统,包含了二维XY纳米定位台,三维微操作定位台,三维XYZ纳米定位台,多角度旋转定位台系统。

6维多轴定位台系统是晶体六自由度定位设计的纳米六轴角位台系统和万向角度定位仪器,提供多角度多维度定位能力,feichang适合大分子晶体学研究的晶体定位和精确样品重新定向,可以在同步加速器设备和X射线簇源中*化数据采集功能,并成功用于瑞士光源MX(SLS)项目.

晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。

六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。

六自由度并联微定位台P-SLC-24采用德国六自由度并联微纳平台hexapod提供六轴并联动力学纳米定位,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm，***大负载1000g (10N)，***大真空度:10^-11mbar，重复精度(xyz全行程）±200 nm，重复精度(Θxyz全行程）±10urad。

六自由度并联机器人P-SLC-17采用德国hexapod六轴并联动力学机器人技术,提供六自由度并联平移台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。

六自由度并联平台225.75采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位平台,提供六自由度平台操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm,***大负载1000g (10N),***大真空度10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad

六轴并联位移台110.45采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm,,***大负载：500g (5N),***大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程）±10urad

六轴并联定位台115.25采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联运动机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm,***大负载：250g (0.25N),***大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad

六轴并联定位平台70.42采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm,***大负载500g (5N),***大真空度:10^-11mbar。重复精度(xyz全行程）±200 nm，重复精度(Θxyz全行程）±10urad.

真空电动三角反射镜座STT-50是电动真空反射镜三角架,采用采用STT纳米定位器和电动倾斜反射镜架组成,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装2英寸25.4mm光学镜片。分辨率：<0.1urad，<1nm, 行程范围：<10mm，± 25.0 °, 旋转:Φ, Θ: ± 25.0 °,***大真空度：10^-11mrad。

电控旋转调整架STT-2013采用STT纳米旋转台和电动倾斜激光反射镜架组成,提供360度旋转定位光路调整功能,适合12.7mm和25.4mm的光学镜片和滤光片,可用于普通实验室环境,高真空和超高真空环境.Θ调整范围± 90.0 °,Φ调整范围± 90.0 °

高真空电动反射镜镜架STT-50.8采用STT纳米定位器和电动倾斜反射镜架组成,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装50.8 mm (2“)的反射镜。扫描分辨率<0.1urad,***大真空度10^-11mrad,Θ调整范围± 1 °,Φ调整范围± 1 °，扫描速度约15°/s。

真空闭环无边缘调整架STT25.4:14:E采用2个感应传感器实现激光镜片闭环调整,无边缘调整架设计可在两个激光反射镜中间带来*多反射光线和能量,两个激光反射镜距离可以*小,feichang适合安装激光镜片空间有限的应用,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装25.4 mm (1 “)的反射镜。

电动闭环激光镜架STT25.4:14:I采用两个感应传感器实现电控闭环调整,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装25.4 mm (1 “)的反射镜。扫描分辨率<0.1urad,***大真空度10^-11mrad,Θ调整范围± 2.15 °,Φ调整范围± 2.15 °，扫描速度约9°/s。

高真空电动反射镜调整架STT-25.4采用STT纳米定位器和电动倾斜反射镜镜架组成,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装25.4 mm (1 “)的反射镜。扫描分辨率<0.1urad,***大真空度10^-11mrad,Θ调整范围± 2.5 °,Φ调整范围± 2.5 °，扫描速度约15°/s。

高真空电动激光调整架STT-12.7采用STT纳米定位器和电动倾斜反射镜镜架组成,可以通过USB,网口或RS232手动远程控制,也可手动控制器控制,可安装12.7mm（0.5”）的反射镜,扫描分辨率<0.1urad,***大真空度10^-11mrad,Θ调整范围± 2.0 °,Φ调整范围± 2.0 °，扫描速度约15°/s。