等离子体去胶机

等离子体去胶机GIGAbatch 360M和380M采用等离子体除胶清洗清洁功能为晶圆去胶提供晶圆去胶机。等离子体去胶机360M有一个直径为245毫米的加工室，可容纳多达50个直径为150毫米的晶圆。等离子体去胶机380M腔室的内径为300mm,适合25个直径为200mm的晶圆共同批量去胶清洁。
等离子体去胶机基本版本是一种带有涂漆镶板、可调节脚和脚轮的落地式设备。它有一个输出功率为1000W的发电机、两个MFC气体管道、晶片温度监测和端点检测系统。此外，还包括用于固定晶圆和基板的装置。它安装在室内舱门上，并根据各自的客户要求进行设计。
等离子体去胶机可选配项目
过程压力主动控制装置（DSC）
法拉第笼
附加气体管道
不同尺寸基板或晶圆的加载装置
陶瓷加工室
含氟工艺气体操作专用密封