纳米线性定位器SLC-17系列是高精度线性纳米定位器,具有不同的宽度和高度,非常适合微纳定位系统使用,具有可靠的稳定性和极高的定位精度。这些线性定位器还具有非磁性材料类型,能够兼容10^-11mbar真空环境。
纳米线性定位器SLC-1720系列具有紧凑的结构和微小的外形尺寸,可以植入位置传感器从而**地胜任微纳定位任务.
纳米线性定位器SLC-1720系列产品都能达到
blocking force FB > 3.5 N, ***大力FN~30 N,***大Lift force FL>11.5N,速度达到20mm/s。
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纳米线性定位器SLC-17系列规格参数
| 型号 |
SLC-1720 |
SLC-1730 |
SLC-1740 |
SLC-1750 |
SLC-1760 |
SLC-1770 |
SLC-1780 |
| 分辨率 |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
| 负载 |
20N(2kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
| 适合真空度 |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
| 行程范围 |
12mm（+/-6mm) |
12mm（+/-6mm) |
26mm（+/-13mm) |
31mm（+/-± 15.5mm) |
41mm（+/-± 20.5mm) |
46mm（+/-± 23mm) |
51mm（+/-± 25.5mm) |
| 步进1 |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
| 扫描范围 |
>1.5um |
>1.5um |
>1.5um |
>1.5um |
>1.5um |
>1.5um |
>1.5um |
| 扫描分辨率 |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
| 速度 |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
| ***大频率 |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
| 阻尼力Fb |
>3.5N |
>3.5N |
>3.5N |
>3.5N |
>3.5N |
>3.5N |
>3.5N |
| ***大正向力Fn |
20N |
30N |
30N |
30N |
30N |
30N |
30N |
| ***大升力Fl |
>1.5N |
>1.5N |
>1.5N |
>1.5N |
>1.5N |
>1.5N |
>1.5N |
| 尺寸 |
22 x 17 x 8.5 mm^3 |
30 x 17 x 8.5 mm^3 |
40 x 17 x 8.5 mm^3 |
50 x 17 x 8.5 mm^3 |
60 x 17 x 8.5 mm^3 |
70 x 17 x 8.5 mm^3 |
80 x 17 x 8.5 mm^3 |
| 重量 |
13g |
20g |
26g |
32g |
38g |
45g |
51g |
| pitch俯仰力矩Mp |
0.6Nm |
1.2Nm |
3.0Nm |
4.6Nm |
7.6Nm |
10.1Nm |
12.5Nm |
| yaw偏航力矩My |
0.6Nm |
1.2Nm |
3.0Nm |
4.6Nm |
7.6Nm |
10.1Nm |
12.5Nm |
| roll扭转力矩Mr |
0.4Nm |
0.6Nm |
1Nm |
1.2Nm |
1.4Nm |
1.6Nm |
1.9Nm |
Closed-Loop-S
传感器分辨率 |
1nm |
1nm |
1nm |
1nm |
1nm |
1nm |
1nm |
Closed-Loop-S
重复精度2 |
+/-25nm |
+/-30nm |
+/-40nm |
+/-50nm |
+/-60nm |
+/-70nm |
+/-80nm |
Closed-Loop-L
传感器分辨率 |
4nm |
4nm |
4nm |
4nm |
4nm |
4nm |
4nm |
Closed-Loop-L
闭环分辨率 |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
+/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
Closed-Loop-L
重复精度 |
+/-1um(H)CU,
+/-50nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-60nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-80nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-100nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-120nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-140nm MCS |
+/-1um(H)CU,
+/-160nm MCS |
说明：
步进1：低振动模式时的扫描模式下步进为1nm,其它模式为50-1500nm
Closed-Loop-S重复精度2：是全行程的重复精度，行程范围小时重复精度会**
材料和真空可选项：
钢铁和钛金属材料底座可选
非磁性材料可选
液氮温度CR可选
黑色氧化铝表面处理可选
兼容真空（10^-6mbar)和高真空环境(10^-11mbar)处理工艺可选
