场发射显微镜
场发射显微镜Field Emission Microscope是为半导体器件漏电和门控问题设计的荧光显微热像仪,可确定器件芯片Ohmic短路位置。场致发射显微镜确定断路位置,快速而清洁,不需要在晶圆上涂层镀膜,可以在1000nm以下和1800nm波段显示漏电和门控问题。
编号:FPCRE-Field-Emission
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