薄膜厚度和折射率测量

薄膜的定量测量涉及众多指标，根据不同应用，薄膜厚度，薄膜折射率，薄膜热扩散系统，玻璃转换温度/玻化温度等指标需要测量。而薄膜厚度在各种应用中都有测量的必要。
我们提供的薄膜厚度测量系统可以测量各种薄膜的厚度，包括 supported film (有衬薄膜,负载薄膜,支持薄膜,负荷膜), suspended film (悬浮薄膜,悬空薄膜），薄或厚的薄膜,单层薄膜或多层薄膜,多层膜堆等。
薄膜厚度测量系统（薄膜测厚仪）在薄膜厚度测量领域的局限极小，测量局限在个别测量案例中也能够克服。例如，对于较薄的透明层需要测量时，可以使用所有的光学器件，如光源，光纤和光谱仪，这就有助于将薄膜厚度测量仪调整到*短的波长，以测量超薄透明膜。再比如，对于样本表面较为粗糙的情况，就不容易测量薄膜厚度。

单层薄膜或多层薄膜（膜堆）的薄膜厚度测量和计算离不开薄膜反射光谱的获取（这将在"反射技术“一文中详细阐述）。对于薄膜厚度的计算，两种光谱是必须的，一种是反射光谱，另外一种是参考光谱。

薄膜厚度测量精度取决于多种因素，不仅与薄膜本身的特性有关，还与测量所用的光谱仪有关。


Si衬底单层SiO2薄膜厚度测量结果，564.6nm厚度， 300-600nm光谱测量。


Si衬底上SiO2/Si3N4双层膜堆测量结果，薄膜厚度各为573nm和141.8nm， 使用300-700nm光谱测量。