干法刻蚀机

干法刻蚀机ES373是大规模集成电路设计的精细工艺干法刻蚀系统。该干法刻蚀机专门用于大规模集成电路（LSI）失效分析，具有在多层器件上进行高宽高比刻蚀的能力，具有*越的功能和易用性。
干法刻蚀机特点
存储可变蚀刻条件的存储器功能。
食谱记忆函数步程序函数
节省蚀刻条件，易于维护
运行历史记录
帕尔贴装置对舞台温度的控制
工艺气体管道VCR接头
干式泵