3D激光共聚焦形貌显微镜

3D激光共聚焦形貌显微镜是一种高速共焦激光扫描显微镜（CLSM），用于精确可靠的三维测量，从一系列光学剖切图像中提供目标物体的三维描述，通过该算法，横截面图像被直接转换为三维轮廓数据。这种独特的原始截面图像，直观地解释，使表面轮廓数据绝对*于其他光学技术。

3D激光共聚焦形貌显微镜特点
-高分辨率无损光学三维测量
-实时共焦成像
-各种光学变焦
-同时亮场和共焦成像
-具有精细自动聚焦的自动增益搜索
-倾斜补偿
-简易分析模式
-精密可靠的高速测高
-通过半透明基板检查特征
-无样品制备
-宽范围检测的图像拼接
3D激光共聚焦形貌显微镜应用
-半导体：IC图形，凸点高度，线圈高度，缺陷检查，CMP工艺
-FPD产品：触摸屏检查，ITO图案，LCD柱垫高度
-MEMS器件：结构的三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形
-玻璃表面：薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案
-材料研究：模具表面检查，粗糙度，裂纹分析

3D激光共聚焦形貌显微镜测量表面粗糙度
3D激光共聚焦形貌显微镜规格参数

型号	显微镜	NS-3600				Remark
物镜放大倍数		10×	20×	50×	100×
观察/ 测量范围	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	竖直 (V): μm	1050	525	210	105
工作距离: mm		17.5	4.5	1.0	1.0
数值孔径 (N.A.)		0.30	0.45	1.0	1.0
观察/测量的光学系统		小孔聚焦光学系统
Height Measurement	Measuring scan range	10 mm
	Display resolution	0.001 µm
	Repeatability σ	0.02 µm				Note 1
Width measurement	Display resolution	0.001 µm
	Repeatability 3σ	0.03 µm				Note 2
Frame memory	Pixel count	1024x1024, 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96
	For confocal image	12 bit
	For color image	8-bit for RGB each
	For height measurement	16 bit
Frame rate	Surface scan	20 Hz to 160 Hz
	Line scan	~8 kHz
Laser beam light source for confocal measurement	Wavelength	Red laser, 638 nm
	Output	~2 mW
	Laser Class	Class 3b
Laser light-receiving element		PMT (photomultiplier tube)
Light source for optical observation	Lamp	LED
Color camera for Optical observation	Imaging element	Color CCD image sensor
	Recording resolution	1296x966
Data processing unit		Dedicated PC
Power supply	Power-supply voltage	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	Current consumption	500 VA max.
Weight	Microscope	Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12.5 kg)
	Controller	~8 kg
Vibration isolating system		Pneumatic isolator

• Note 1 :

  100 times measurement of standard sample (1µm step height) with 100× / 0.9 objective.

• Note 2 :

  100 times measurement of standard sample (5µm pitch) with 100× / 0.9 objective.