纳米线性位移台SLL12是长行程范围的线性纳米
位移台,基于循环球滑块设计，小滑块结合不同长度的导轨，使其可以进行精确远程纳米位移定位或在有限空间内大行程范围的纳米位移定位。可以在同一个轨道上放置多个滑块。
纳米线性位移台SLL12可由我们的任何控制单元操作，也可用于高真空应用。
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纳米线性位移台SLL12规格参数
| 型号 |
SLL12 |
SLLA42 |
SLLV42 |
| 分辨率 |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
| 负载 |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
30N(3kg) |
| 适合真空度 |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
| 行程范围 |
70~475mm |
70~1480mm |
70~1480mm |
| 步进1 |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
| 扫描范围 |
>1.5um |
>3um |
>3um |
| 扫描分辨率 |
<1nm |
<1nm |
<1nm |
| 速度 |
>20mm/s |
>20mm/s |
>20mm/s |
| ***大频率 |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
| 阻尼力Fb |
>3N |
>5N |
>5N |
| ***大正向力Fn |
30N |
30N |
30N |
| ***大升力Fl |
>1N |
>1.5N |
>1.5N |
| 尺寸 |
33.8 x 27 x 13 mm3 |
54 x 60 x 16 mm3 |
54.8 x 60 x 16 mm3 |
| 重量 |
44g |
148g |
148g |
| 钢轨重 |
59 g / 100 mm |
286 g / 100 mm |
286 g / 100 mm |
| pitch俯仰力矩Mp |
6Nm |
25Nm |
25Nm |
| yaw偏航力矩My |
6Nm |
25Nm |
25Nm |
| roll扭转力矩Mr |
11Nm |
90Nm |
90Nm |
Closed-Loop-S
传感器分辨率 |
1nm |
1nm |
1nm |
Closed-Loop-S
重复精度 |
± 70 ~450 nm 2 |
± 70 ~450 nm 2 |
± 70 ~450 nm 2 |
纳米线性位移台SLL12可选项目
多运载滑块
沉头孔、螺纹孔（M4）
黑色阳极氧化（-BK）
闭环所需的螺纹孔M4
-HV (10
-6 mbar)
3
纳米线性位移台SLL12配件
纳米线性位移台SLL12具有多种配件方便用户使用,可以配备各种规格的适配板,也可集成压电驱动导轨用于搭建各种复杂纳米定位系统。
纳米线性位移台SLL12配件-被动运载滑块-可以安装到各种导轨上,方便移动定位样品
纳米线性位移台SLL12配件-终点阻挡器-安装到线性定位台上方便阻挡滑块脱轨
纳米线性位移台SLL12配件-宽定位台适配器-能够适配不同宽度的纳米线性定位台
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纳米线性位移台SLL12应用案例
我们采用两个
纳米线性位移台SLL12和一套SR-7012纳米旋转定位台组成了3D纳米微操作器,能够负载300克样品,在XY和旋转方向为用户提供纳米定位,可用于真空环境,feichang适合用于SEM扫描电子显微等样品定位。
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