光致发光显微镜

光致发光显微镜是显微光致发光光谱系统,具有150mm x 150mm的扫描成像面积，适合对晶圆材料测量PL光谱和拉曼光谱。
光致发光显微镜把激光束照射到样品表面,采集发射光,扫描样品就获得每个点（x,y)的光致发光光谱。通过扫描成像,可获得数百万光谱信息,进而软件分析光谱的峰值能量和强度,获得理想的对比度和分辨率的光谱图像。
光致发光显微镜可以快速改变波长范围和实验设置，除了获得光致发光光谱，还可以获得拉曼光谱和反射光谱。
光致发光显微镜应用
发光二极管缺陷检测
宽带半导体器件光致发光PL mapping
2D材料发光学研究
半导体合金的组份分析
半导体器件失效分析和质量控制
光致发光扫描成像仪功能
亚微米分辨率进行PL mapping
宽视场显微镜功能用于样品检测
可测量拉曼光谱和反射光谱
光致发光显微镜规格参数
扫描面积：150mm x 150mm 
XYZ扫描
光源激发波长：349nm -975nm 
默认光源激发：266nm 
PL光谱范围：266nm -2500nm 
平面内亚微米分辨率
光致发光显微镜应用
碲化镉（CdTe）通常具有微弱的PL信号，并且通常只显示一个明确的峰值。光致发光显微镜feichang灵敏，对光谱*征进行稳健建模，可以检测到PL峰值能量的微小变化。 
光致发光显微镜在532 nm激发下绘制碲化镉CZT晶块的切片，并使用单个bigaussian函数拟合了得到的PL光谱。

图1显示了示例光谱和拟合

图2显示了峰值能量的空间图。在这些拟合中，可用的参数是发射峰值能量、峰值振幅和峰值宽度。