电镜原位等离子体清洁器

电镜原位等离子体清洁器EM-KLEEN可用于电子显微镜和分析仪器（如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS）的样品和真空室的原位清洁。它可以有效去除高真空或超高真空室内的碳氢化合物和氟碳化合物污染，提高***终真空水平，减少泵停机时间。它还可以在表面成像和分析之前去除样品表面的有机污染物。
电镜原位等离子体清洁器由一个带嵌入式微型计算机的电阻式LCD触摸屏控制器和一个远程等离子体源组成。应在待清洁的真空室上安装远程等离子体源。标准真空接口端口为NW/KF40法兰。可提供用于不同SEM端口的适配器。还提供CF2.75〃法兰选项。
电镜原位等离子体清洁器EM-KLEEN是一种全自动等离子体源。设计直观，用途广泛。尽管EM-KLEEN远程等离子体源体积小，但它集成了Pirani压力传感器、电子可变气体流量控制器、等离子体强度传感器、温度传感器和冷却风扇。流量控制器自动调节气体流速，以保持等离子体清洁器室内的配方指定压力。该控制器可以存储多达60个具有不同射频功率、等离子体管压力、气体流速和清洁持续时间的配方。不同配方无需手动调整。微型压力传感器不断监测样品室的压力。它可以用作安全操作模式下的安全联锁触发器，并为SmartSchedule计数样本加载事件™ 特色冷却风扇可实现高功率高速清洁，而不会导致电源过热。温度传感器提供了另一个联锁保护，防止在高功率下长时间清洁时电源过热。等离子体强度传感器实时测量等离子体强度。

电镜原位等离子体清洁器特点
在极低压力下瞬间点燃等离子体。用户无需担心等离子体是否点燃。无需手动调节旋钮来点燃EM-KLEEN上的等离子体。
带压力传感器反馈控制的电子可变气体流量控制。用户可以直接指定不同的工作压力源。等离子体清洁器将通过压力传感器提供的伺服反馈控制回路自动调节气流，从而保持设定压力。
等离子体探针监测等离子体强度，以指导用户设置***佳配方。***佳气体流量可以随着不同的系统泵送速度和腔室尺寸而变化。我们的等离子体清洁器为用户提供了以电子方式改变气流的自由度，并根据等离子体强度传感器的反馈*化源压力
0-75瓦射频功率，频率为13.56MHz。射频功率可按1瓦间隔调整。
带有触摸屏用户界面的微型计算机。
直观的远程PC通过RS232/RS485协议控制用户界面。
智能“安全操作模式”和“专家操作模式”，带有用户自定义的警告信息。如果许多没有经验的用户共享电子或离子显微镜，这是一个非常有用的功能。
微型计算机上可自定义的SmartScheule功能可以自主管理您的系统。
支持60种可定制的配方，具有不同的射频功率瓦数、等离子体管压力、气体流速和清洁持续时间。
主动风扇冷却，实现高功率高速清洁。
易于携带的控制器。该系统可以很容易地在不同的系统之间移动。