激光微纳加工系统

激光微纳加工系统是始终是为激光微细加工设计的皮秒激光工作站,满足各种工艺级微加工需要。
激光微纳加工系统对激光系统的控制技术满足工业标准中的模块化现场总线系统。系统设计的模块化还允许集成用于批量生产的部件进给的处理系统。
主要规格参数
机器框架部分：机器框架用于激光微加工,带有交叉工作台的刚性双C型框架结构；镜像设计的机器门方向、操作员面板和抽吸装置连接器
                       选项：花岗岩Granit
电控轴参数：Motorized machine axes: XY cross table, Z stage (vertical mounted, brake) Working area: typ. 210 mm x 290 mm x 200 mm Repeatability: ± 0.02 mm to ± 1 micron Speed: up to 200 mm/s Type: linear direct drive or ball screw
光学扫描镜：高精度扫描镜片,物镜焦距：f=60-160mm
激光器：固态皮秒激光器，飞秒激光器等