纳米操纵系统采用
纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供
纳米级微操纵方案,非常适合SEM和各种电镜样品
微操作使用。
纳米操纵系统布局非常方便,可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制。
纳米操纵系统可以与各种高分辨率电镜,SEM匹配使用,采用磁性镜头设计,可与市场上主流扫描电镜联合使用,即使在加速电压低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。
纳米操纵系统的安装非常方便,不需要改造原有的扫描电镜,几分钟即可完成安装。
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纳米操纵系统规格参数(单个纳米探针模块规格)
自由度：4个独立的自由度X,Y,Z,R
尺寸：主体20.5mm x 21.7x 12.5mm, 机械臂8.3mm
重量：12g
***大定位分辨率：Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)
Scanning模式下：0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)
运动范围： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（R), 41度（Z)
Scanning模式：440x250x780nm (XYZ)
运动速度：1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)
力/力矩： 推力0.3N (XY), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (XY)， 0.9mNm(6g) (Z)
Tilt 角：***高55度
漂移：<1nm /min
电学探针规格：
电压范围：+/-100V
电流范围：100mA
漏电流：<100fA/V
带宽：***大25MHZ
电阻：约为3.5欧姆
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纳米操纵系统各种布局
