龙门式三维运动平台是专业为三轴龙门式平移运动设计的三轴Gantry位移平台,采用三种精准闭环直流伺服电机线性制动器确保高精度线性平移运动。
龙门式三维运动平台标准的15英寸龙门架为X轴和Y轴提供380mm行程距离,Z轴行程100mm(4英寸),并可按客户要求订制*大或*小行程的龙门运动平台。并可且可提供第四轴支持控制视频显微镜缩放变焦,支持变焦范围高达16倍。
龙门式三维运动平台采用精密轴承导向总成提供平稳和准确的运动。整个龙门工作台经过精密加工达到了要求的公差,XY分辨率高达3arcsec 典型的双向重复精度*于5微米。在标准配置中,X轴和Y轴的***大移动速度为每秒100毫米(4英寸),还可提供其它运行速度选项。
龙门式三维运动平台Z轴标准分辨率高达0.1微米,双向重复精度高达1微米,***高行进速度7mm/s,可提供其它速度。
龙门式三维运动平台可提供各种线性编码器,分辨率高达10nm,典型重复精度500nm。
龙门式三维运动平台可配置相机和视频显微镜,支持共轴照明,环状照明等光源安装,搭建成图像采集,视频检测,3D定位,剖面检测等成像显微镜系统。
龙门式三维运动平台Gantry特点
1.XY轴闭环直流伺服控制,Z轴用于精准定位;
2.宽广的动态速度范围,可调整梯形运动轮廓;
3.驱动器上电子力矩限位保护,用于“内置”极限保;
4.霍尔效应极限传感器用于XYZ三轴
4.所有轴上微米级的重复精度;
5.平滑可调试双量程操纵杆控制;
6.背光液晶显示器显示XY和Z坐标轴;
7.“0”和“Home ”按钮用于简单独立的操作;
8.紧凑的符合人体工程学的桌面单元尺寸是9 x 23 x 16½ cm (3½ x 9 x 6½ 英寸);
9.微处理器控制与RS-232串行和USB通信;
10其他功能包括可编程定位模式和扫描。
龙门式三维运动平台Gantry技术参数
XY轴行程范围 |
380 mm x 380 mm (15” x 15”) |
XY轴分辨率 |
< 3 µm |
XY轴RMS可重复精度 |
< 5 µm |
XY轴***大速度 |
100 mm/sec |
Z轴行程范围(典型) |
100 mm (4”) |
Z轴分辨率(Z轴步长) |
22 nm |
Z轴RMS可重复精度(典型) |
< 700 nm |
Z轴***大速度 |
7 mm/sec |
龙门式三维运动平台Gantry的螺杆可选项
丝杆螺距选择 |
旋转编码器分辨率 |
|
***大速度(动态范围=400) |
|
|
XY |
Z |
XY |
Z |
25.40 mm (极粗) |
N/A |
88 nm |
N/A |
28 mm/sec |
12.70 mm (超粗) |
1680 nm |
44 nm |
200 mm/sec |
14 mm/sec |
6.35 mm (标准) |
840 nm |
22 nm |
100 mm/sec |
7 mm/sec |
1.59 mm (细) |
210 nm |
5.5 nm |
25 mm/sec |
1.75 mm/sec |
注明:采用标准6.35mm螺距螺杆
龙门式三维运动平台Gantry规格说明
1.Z轴的标准分辨率小于0.1微米,典型的双向重复性*于1微米。在标准配置中,Z轴的***大移动速度为每秒7毫米(1/4英寸),还有其他的可供选择。
2.线性编码器适用于所有轴提供分辨率降到10nm,典型的可重复性比500nm,规模精度±3µm规模的长度。
3.该
龙门式三维运动平台Gantry可以定制配置相机和视频显微镜与自动聚焦和电动变焦。照明选择范围也很广,包括同轴光源,环形光源和LED灯箱,如图所示,具有可变强度和均匀的光分布。
4.该
龙门式三维运动平台Gantry可以很容易地配置为各种各样的图像采集,视频检查,3D定位和剖面应用。