这款
二维XY定位平台METROSTAGE是美国Nutec高精度
电动XY定位台,采用了XY双轴定位台设计,可以设计成实心表面,也可设计成开放的中空框架结构,同时满足超净工作间和真空环境的使用要求。
这款
二维XY定位平台METROSTAGE采用特殊的3层结构设计，保证了***小的形变和***高的精度，刚度和稳定性也得到了***大化，从而保证了
二维XY定位平台的***佳支撑和完整性. 无空回（backlash-free)的预装引导系统保证了
二维XY定位平台实现平稳,低摩擦,高精度地定位,无故障长期使用。
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二维XY定位平台应用
具有广泛的应用,可用于计量和制造领域,半导体封装,测试和制造领域,视频检测,微细加工,激光加工,高速加工,激光和检测等领域。也有许多用户把这套
XY定位平台用于显微镜上,替代精度不足的传统显微镜载物台。
二维XY定位平台主要特色
超薄设计,3层结构；
直线伺服或滚轴丝杆驱动系统
集成的非接触式位置编码器
分辨率高达1纳米
内部预加载的辊导向系统
可集成伺服控制功能
二维XY定位平台配置
行程范围100x100mm到300x300mm
位移台高度***低可达60mm
开放框架或固体顶部
适合超净间使用
真空兼容，适合真空环境使用
非磁性
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二维XY定位平台中空版本
二维XY定位平台参数：
行程范围：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驱动系统；步进电机,伺服电机，直线伺服电机，陶瓷伺服电机
***大加速度：由负载决定
***大速度：直线电机驱动：500mm/s,
滚珠螺杆：250mm/s，
滚柱丝杠驱动:40mm/s
***大负载：15kg
TTL分辨率：50nm
重复精度：≤1µm
构造：铝合金主体，灰色硬质涂层
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型号 |
MS-100 ST |
MS150-ST |
MS200-ST |
MS300-ST |
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行程 (mm) |
100x100 |
150x150 |
200x200 |
300x300 |
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控制规格参数 |
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精度 |
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标准精度SP |
± 7.5µm |
± 10µm |
± 15µm |
± 20µm |
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高精度版本精度HP |
± 5µm |
± 7.5µm |
± 10µm |
n/a |
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极高精度版本精度XHP |
± 3µm |
± 4µm |
± 6µm |
n/a |
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直线度/平整度 |
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标准品直线度/平整度 |
± 8 µm |
± 10 µm |
± 12 µm |
± 20 µm |
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高精度版直线度/平整度 |
± 3µm |
± 4 µm |
± 6 µm |
n/a |
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极高精度版直线度/平整度 |
± 3µm |
± 4 µm |
± 5 µm |
n/a |
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Yaw/Pitch/Roll |
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标准版Yaw/Pitch/Roll |
20 arc-sec |
20 arc-sec |
20 arc-sec |
20 arc-sec |
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高精度版Yaw/Pitch/Roll |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
n/a |
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二维XY定位平台规格 |
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标准版正交性 |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
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高精度版正交性 |
5 arc-sec |
5 arc-sec |
5 arc-sec |
n/a |
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极高精度版正交性XHP |
3 arc-sec |
3 arc-sec |
3 arc-sec |
n/a |
