这款
手动型分析探针台广泛用作晶圆
探针台和RF
探针台,性价比高
,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件测试和晶圆
探针台测试应用。
手动型分析探针台特色
手动操作样品台,行程范围100mm x 100mm
加载或卸载晶圆非常方便
传统的粗调和微调台板设计,范围12.7mm, 25mm或40mm可选
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
带有相机接口
两侧带有连接接口,适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维
位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
手动型分析探针台规格参数
适合晶圆大小:***高100mm
手动XY
位移台: 行程范围100mm x 100mm, 分辨率5um
台板行程:12.7mm 或*大,
台板调整:带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度:<+/-12.7um @150mm长度
台板刚度: <5um @4.5kg
样品夹盘规格
真空:多区真空
平面度:+/-13um
击穿电压:500V
隔离度:1G欧姆
调整:360度粗调, +/-6度微调
显微镜:高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头:BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级
位移台)
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重:85kg ~95kg (根据所选不同配件)