| 型号 | Frequad-* | Frequad-W |
| 波长 | 400…205 nm | 213 nm |
| 输出功率 | ** W | 10 mW |
| 线宽 | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束质量 | TEM00 | TEM00 |
| 偏振 | 竖直, 线偏振 | Vertical, Linear |
| 供电要求 | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
| 功耗 | < 340 W | < 300 W |
| 制冷 | ** | 空气制冷 |
| 尺寸 | ** | 240 x 840 x 160 mm |
※表示可根据客户要求订制213nm/205nm深紫外激光器.
213nm/205nm深紫外激光器应用
半导体检测
拉曼光谱
光致发光
磁盘母盘
光纤布拉格光栅