Shack-Hartmann波前传感器

Shack-Hartmann波前传感器是为测量光束波前参数的S-H波前传感器。
Shack-Hartmann波前传感器规格
•相位测量范围-高达15μ
•测量精度-λ/100（RMS）
•输入光束直径- 4~100 mm及以上
•工作子孔径数：>=400
•工作波长范围：400nm~1100nm
•采集频率/帧速率：高达60赫兹
•脉冲和连续激光束诊断

Shack-Hartmann波前传感器可用型号：
WFS-11.26-3.2-0.136
孔径-11.26 mm
工作子孔径数量-4800
微透镜焦距-3.2 mm
空间分辨率-136μ
动态范围（倾斜）*-185μ
动态范围（散焦）*-45μ
**精度RMS-10 nm
相对精度RMS-2 nm
重复性-0.9 nm
***小曲率半径*-340 mm
ROC测量精度-0.4 mm
曲率测量灵敏度-250 m
*λ=650 nm时
WFS-7.03-3.2-0.136
孔径-7.03 mm
工作子孔径数量-1870
微透镜焦距-3.2 mm
空间分辨率-136μ
动态范围*-115μ
准确度RMS-12 nm
***小曲率半径*-210 mm
ROC测量精度-0.4 mm
曲率测量灵敏度-90 m
*λ=650 nm时
WFS-4.91-3.2-0.136
孔径-4.91 mm
工作子孔数量-910
微透镜焦距-3.2 mm
空间分辨率-136μ
动态范围*-80μ
准确度RMS-10 nm
***小曲率半径*-150 mm
ROC测量精度-0.5 mm
曲率测量灵敏度-45 m
*λ=650 nm时
Shack-Hartmann波前传感器硬件包括：
•透镜阵列
•单色CCD/CMOS摄像机（IEEE 1394）
•IEEE 1394电缆（6针-6针）
Shack-Hartmann波前传感器可选：
•调整镜头或望远镜系统的尺寸
•夹持器中的中性密度滤光片
•参考波前源（准直器、单波长光纤耦合激光器、支架）
Shack-Hartmann波前传感器软件包括：
•圆瞳孔或多边形掩模的波前重建
•P-V测量
•RMS的定义
•像差扩展到Seidel和Zernike多项式（倾斜、散焦、像散等）
•条纹表示，二维和三维波前
•强度分布重建
•光束质量因子M²的估算；光束*性参数：激光束直径、束腰和位置、•光束发散度
•PSF、MTF