高精度六足位移台是六轴定位台hexapod,具有稳定的6DOF系统，旨在以高精度和1.5µrad的分辨率在空间中定位,适合高精度六自由度定位应用。
高精度六足位移台具有高分辨率执行器和高精度球形接头的配置和集成使KUBAN六足能够实现高性能的分辨率和可重复性，有效载荷高达500公斤。
高精度六足位移台特色
高度600mm
负载高达500kg
分辨率+/-2.5urad
绝对编码器
高精度六足位移台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
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高精度六足位移台规格参数
行程范围Tx,Ty：+/-75mm
行程范围：Tz： +/-45mm
行程范围：Rx,Ry:+/-5度
行程范围：Rz: +/-10度
分辨率Tx,Ty: 0.2um
分辨率Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry: 1.5urad
分辨率Rz: 2urad
重复精度Tx,Ty: +/-0.5um
重复精度Tz: +/-0.25um
重复精度Rx,Ry:+/-2.5urad
重复精度Rz: +/-4urad
速度Tx, Ty: 0.9mm/s
速度：Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.12度/秒
速度Rz : 0.3度/秒
负载: 500kg
工作温度：0-50℃
位移平台： dia450mm
中间通孔：dia 200mm
自身重量：140kg
线缆长度：5m
供电要求：110-240VAC
