紧凑型高速六轴摇摆台是微型六自由度摇摆台hexapod,适合高精度六自由度定位应用。
紧凑型六轴摇摆台特色
直径120mm
高速度+/-30mm/s
负载高达5kg
绝对编码器
中间位置定位104mm
紧凑型高速六轴摇摆台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
紧凑型高速六轴摇摆台规格参数
行程范围Tx,Ty：+/-18mm
行程范围：Tz： +/-6.5mm
行程范围：Rx,Ry:+/-10度
行程范围：Rz: +/-21度
分辨率Tx,Ty: 0.1um
分辨率Tz: 0.08um
分辨率：Rx, RY: 2.5urad
分辨率：Rz: 3.5urad
重复精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重复精度Rx,Ry,Rz:+/-4urad
速度Tx, Ty: 30mm/s
速度：Tz: 20mm/s
速度Rx Ry: 15度/秒
速度Rz : 20度/秒
负载: 5kg
刚度 XY: 0.3N/um
刚度Z: 5N/um
工作温度：0-50℃
位移平台： dia100mm
中间通孔：dia 50mm
自身重量：1kg
线缆长度：2.5m
供电要求：110-240VAC
