飞秒激光刻蚀机

这套飞秒激光刻蚀机是可以用于太阳能电池蚀刻刻膜的整套飞秒激光蚀刻机系统。可用于光伏电池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蚀刻,晶圆边缘隔离使用。
飞秒激光刻蚀机采用紫外飞秒激光器提供如下服务：
—  SiNx/SiO2去除,
      去除二氧化硅,去除氮化硅         
      边缘隔离晶圆    
      背接触激光烧结和激光刻槽    

其中紫外飞秒激光器用于SiNx/SiO2的选择性刻蚀或切除(氮化硅膜蚀刻),配备的紫外飞秒激光器可以feichang精密地剥蚀SiNx(去除氮化硅膜),同时在Si层的直接或热效应降低到***低，从而增加载流子寿命（少子寿命）,避免微裂纹。
该飞秒激光刻蚀机配备自动处理和扫描系统，支持6英寸直径的硅晶片加工。同时配备机械视觉系统以随时调节激光束扫描,保持高度重复性和可靠性。
该飞秒激光刻蚀机配1级激光安装防护装置和灰尘消除系统，营造无尘加工环境，以保证飞秒激光器的精密刻蚀和热效应影响的***小化。

飞秒激光刻蚀机*色
· 适用5'’和6''硅晶片  紫外飞秒激光器
· 机械视图系统可调节激光扫描场
·  精密激光光束定位
· 激光划片,激光刻蚀和激光熔化
飞秒激光刻蚀机成功经历
· 为用户提供了无银敷金属技术生产太阳能电池
· 成功地装配到生产能力高达2.5MWp/a的生产线上。
飞秒激光刻蚀机使用飞秒激光对晶圆wafer的发射端进行介电层（SiNx)的选择性移除。SiNx厚度为50-90nm,覆盖发射端，必须精确移除而不伤害发射 层。一种应用是消蚀SiNx层的同时，也产生bus bars和fingers开口，下一步,这些开口将被镍覆盖，这样就形成了高质量的前接触。这套飞秒激光刻蚀机使用振镜扫描器（Galvanometer scanner)控制激光束切割发射端，机械视图功能能够探测晶圆位置。