阴极发光成像系统

阴极发光成像系统是为测量阴极发光光谱和图像设计的阴极发光光谱仪器cathodoluminescence,可快速获取阴极荧光、透射光或斜反射光的大面积图像。
阴极发光成像系统由用户友*的软件控制,软件控制的自动电压和电流调节可确保大面积图像的高度均匀性和可重复性。
阴极发光成像系统通过调节集成在光学显微镜中的真空室内产生的电子能量，揭示绝缘或半导体样品的化学*性.

阴极发光成像系统主要配置
配备相机（低照度）的光学显微镜
两级真空泵及附件
电子枪
电脑控制（USB）电源
单个物镜的暗室环
阴极发光成像系统*色
稳定控制等离子体，2kV~22kV, 25uA-800uA
自动获取69mm x 39mm 面积区域图像
半定量和定量光谱测量
空间分辨率高达1um