半自动真空探针台

这款半自动真空探针台SPS-2600-VAC和SPS-2800-VAC系列是MicroXact的真空探针系统，设计用于支持在真空或受控气体环境中对多达100mm或200mm的晶片进行电动或半自动探测。
该半自动真空探针台准确，成本低，噪音低，使用方便。半自动真空探针台建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置处理广泛的探测应用。半自动真空探针台提供可控环境晶圆级探测，非常适合于77K以下的无冰测试或易氧化设备和组件的高温测试。
半自动真空探针台特点
标准重复精度+/-7mm
标准分辨率1.5mm 
XY轴可选*高重复精度/分辨率（2mm/100nm)
可选择手动或电控theta台
探针臂可选择带有额外的微操作器
可选择液氮制冷样品夹盘用于液氮温度下测试
标配镜头放大筒比例7:1倍，分辨率可达4um
有效的振动隔离台