磁探针台

这款磁探针台可提供三维磁场控制,满足磁性控制RF探针测试应用.作为磁场探针台实现了平面磁场的任意操控,方便自旋电子器件探针测试.
磁探针台特点
提供使用磁场的任意三维方向的探针台，适合用于自旋电子学研究应用
提供在除了垂直磁场方向上的晶圆探测，适合在生产中的自旋电子学设备测试。
完全可定制的基于LABView的控制软件可易与***普遍的测试和测量设备结合使用
用于微米水平探针定位的有效的具有80TPI螺杆的高分辨率微位置
具有大范围的输出格式和可用设置的数据收集和/或分析
系统配有3个霍尔探头和资料解析以提高无与伦比的磁场稳定性和精度

磁探针台规格参数
适合晶圆尺寸：100mm, 150mm, 200mm 
磁场方向：任意3D
***大磁场：0.6T
磁场方向精度：+/-0.1度
磁场不均匀性：+/-2% @10mm直径区域
磁场稳定性：0.1%
晶圆XY定位分辨率：3um 
Z轴行程： 12.5mm