大型科研级手动探针台

大型手动探针台特点

***近的若干年中，一些价格适中，操作方便的探针台从笨重而昂贵的探针台系列中脱颖而出，成为探针台发展的主流方向。这些新型探针台非常方便用户的使用，极大提高了用户效能和测量速度，同时也为研发工程师提供了多功能方案。 我们设计的这款探针台的价格仅为传统探针价格的2/3, 为客户提供了操作简单的手动探针台方案。

Straight-forward use:  这款大型手动探针台采用直线向前运动设计，操作非常简单容易，*加方便晶圆装卸，真空样品台控制，样品旋转，捆绑探针用于可重复的图案化。用户不需要学习软件，因为它采用了常见的显微镜取代视频相机，用户直接在视场找到探针就可测量。 

Small Footprint probe station: 这款大型手动探针台可用于所有实验室环境和工艺环境。 它的尺寸是39''长, 26''宽，19.5''高，非常适合空间狭小的测试环境，操作人员可距离探针台*近操作。 

Crucial features to make your job easier: 大型手动探针台的样品台吸盘可旋转380度而没有反冲问题，因此样品台真空吸盘可以反过来使用也不需要调整真空。这个14英寸的样品真空吸盘可一次性同时安装4个6英寸的晶圆，非常方便各个晶圆的比较测量。所有的探针都可定位到14英寸真空吸盘表面的任何位置，这就不需要用户因为探针位不足导致的探针样品再定位问题发生。所有的同心环真空都是彼此独立，这样就实现了所有17个对角真空控制多个装置同时测量。
大型手动探针台的定位器特别设计，压力不会突发性地压着探针冲向样品。手动探针台采用了龙门式设计结构，可以负载重量*大的样品。
 

大型手动探针台配置

典型的配置包括：D14 探针台，真空泵 (vacuum up to 29 in. Hg (31 mbar)，显微镜 (Olympus奥林巴斯显微镜: 6.7X - 45X放大倍数)其他显微镜 (Olympus: 16X – 112X, Olympus: 19X – 135X). 

14英寸/(355.6mm) 卡盘
独立真空控制3", 6", 8". 10", 12" and (14") 晶圆直径
17个独立操作真空位置用于校准标定衬底或其它器件
真空致动与卡盘真空位置的一对一关联
探测探头独立
两个独立的Z轴升降装置
无后冲theta 控制并带有锁住手柄
独立的XYZ三轴精调用于***大程度准直
独立的粗调 X, Y, Z, Θ
背部可驱动X控制功能
超低桌面设计金6.25英寸高度
占用空间小,长度x宽仅39x26英