这款
手动探针台适合150mm尺寸晶圆测试,是经济型
探针台但是具有昂贵
探针台的良*参数性能，结构紧凑而方便使用,非常适合实验室半导体器件测试和电路测试应用。
手动探针台适合特色
手动操作样品台，行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选
加载或卸载晶圆非常方便
传统的粗调和微调台板设计,范围12.7mm, 25mm或40mm可选
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
带有相机接口
两侧带有连接接口,适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维
位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等
![$title]( "$title")
手动探针台适合规格参数
适合晶圆大小：***高150mm (其它尺寸可提供）
XY
位移台： 行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选，分辨率3um
台板行程：12.7mm 或*大，
台板调整：带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度：<+/-12.7um @150mm长度, 可选<+/-5um
台板刚度： <5um @4.5kg
样品卡盘规格
真空：3区真空
平面度：+/-13um (可选+/-3um)
击穿电压：500V
隔离度：1G欧姆
调整：360度粗调， +/-6度微调
Z轴微调：10mm, 1um分辨率
显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级
位移台）
