压电旋转定位台SR-4011是采用压电旋转台技术的压电旋转定位器,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转定位台SR-4011集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率（低于1μrad）和***高重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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压电旋转定位台规格参数
| 型号 |
SR-4011 |
SR-4513 |
| 口径 |
9mm |
8mm |
| S闭环传感器分辨率 |
15μ° |
15 μ° |
| 角度分辨率 |
< 1 μ° |
<1 μ° |
| 扫描范围 |
> 4 m° |
> 4 m° |
| 行程范围 |
∞ |
∞ |
| 定位台尺寸 |
40x 40x 11 mm3 |
45 x 45 x 12.5 mm3 |
| 负载 |
10N(1Kg) |
20N(2Kg) |
| 适合***大真空度 |
10-6 mbar |
10-11 mbar |
| 角速度 |
15度/秒 |
15度/秒 |
| 步进 |
0.3 – 2.0 m° |
0.3 – 3.0 m° |
| ***大频率 |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
| 阻尼力Mb |
5N cm |
5N cm |
| ***大正向力Fn |
10N |
20N |
| 旋转台尺寸 |
Ø31mm |
Ø 36 mm |
| 重量 |
60g |
89g |
| S闭环分辨率 |
15 μ° MSC/SDC |
15 μ° MSC/SDC |
| L闭环传感器分辨率 |
60 μ° |
60 μ° |
| L闭环分辨率 |
60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU |
60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU |
| M闭环传感器分辨率 |
500 μ° |
500 μ° |
| M闭环分辨率 |
500 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU |
500 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU |
压电旋转定位台SR-4011材料和真空选项
钢底座（-ST）
硬端止动块，样品短管支架
-真空（10-6m Bar）
压电旋转定位台应用案例
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压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
