压电旋转台SR-5018是采用压电旋转台技术的压电旋转
位移台,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转台SR-5018集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率（低于1μrad）和***高重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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压电旋转台规格参数
| 型号 |
SR-5018 |
SR-5714 |
SR-5714C |
| 口径 |
8mm |
25mm |
25mm |
| S闭环传感器分辨率 |
15μ° |
15 μ° |
15 μ° |
| 角度分辨率 |
< 1 μ° |
< 0.5 μ° |
< 0.5 μ° |
| 扫描范围 |
> 3.8 m° |
> 2.3 m° |
> 2.3 m° |
| 行程范围 |
∞ |
∞ |
∞ |
| 定位台尺寸 |
50 x 50 x 16.5 mm3 |
45 x 45 x 12.5 mm3 |
57 x 57 x 13.75 mm3 |
| 负载 |
20N(2Kg) |
25N(2.5Kg) |
25N(2.5Kg) |
| 适合***大真空度 |
10-6 mbar |
10-6 mbar |
10-11 mbar |
| 角速度 |
15度/秒 |
9度/秒 |
9度/秒 |
| 步进 |
0.2 – 2.0 m° |
0.2 – 3.0 m° |
0.2 – 2.0 m° |
| ***大频率 |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
| 阻尼力Mb |
7N cm |
5N cm |
5N cm |
| ***大正向力Fn |
20N |
25N |
25N |
| 旋转台尺寸 |
Ø 41 mm |
Ø 57 mm |
Ø 48 mm |
| 重量 |
100g |
110g |
105g |
| S闭环分辨率 |
15 μ° MSC/SDC |
- |
- |
| L闭环传感器分辨率 |
60 μ° |
- |
- |
| L闭环分辨率 |
60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU |
- |
- |
压电旋转台应用案例
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压电旋转台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
