压电变形镜

这款压电变形镜采用叠层式压电致动器Stack actuators驱动可变形反射镜,形成压电驱动变形镜系统。
这款压电变形镜采用压电陶瓷柱（称为致动器）粘在玻璃薄片上制成,玻璃薄片可进行反射膜镀膜,当执致动器极化时,反射镜弯曲，弯曲的方向取决于电压极性。
压电变形镜是高分辨率成像和激光成像中高阶像差校正的***佳选择（泽尼克系数>24）。
压电变形镜*点
高阶校正
压电变形镜具有高密度的执行器,具有较小的执行器间距,因此能够很*地适应高阶像差校正（Z>>24）。
大形变行程
压电致动器的***大行程标准为10mm，***大致动器间行程标准为2mm。
高速致动
压电变形镜可在高达1kHz的***高速度下工作，并具有高达15kHz的**共振频率。
多用途
压电变形镜可以使用任何类型的衬底和任何种类的涂层，因此它可以覆盖从X射线到远红外的全光谱范围。

压电变形镜规格参数
有效直径                         10-100mm
致动器数量                           高达512
致动器尺寸                         ≤10mm
致动器间距                    ≤2um
频率                                 高达1kHz（第1次共振@15kHz）
镜片材质                     玻璃，硅，铜，压电陶瓷
镀膜材质             金属膜、介质膜、激光损伤高达20J/cm2（ns脉冲）
光谱范围                122nm至10.6um