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光学薄膜测厚仪
这款光学薄膜测厚仪是采用光谱反射计SR技术的反射光谱膜厚仪,测量薄膜反射光谱,测量薄膜厚度和测量薄膜折射率等参数，非常适合日常已知膜系膜堆测量。编号：FRANG-SR100价格：￥0.00数量：在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询，孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您！ -
- 商品详情
这款光学薄膜测厚仪是采用光谱反射计SR技术的反射光谱膜厚仪,测量薄膜反射光谱,测量薄膜厚度和测量薄膜折射率等参数，非常适合日常已知膜系膜堆测量。
这款光学薄膜测厚仪具有较长工作距离，工作距离可调，超大样品台，可选光源等特点。
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光学模板测厚仪特点
易于安装
软件基于Windows系统，方便使用
**光学设计，良*系统表现
阵列光谱探测器保证快速测量
测量薄膜厚度和折射率高达5层
可测量反射，透射和吸收光谱
可用于实时在线的薄膜厚度和折射率测量
具有齐全的材料光谱舍数据库
可升级到显微分光光度计
适合不同衬底和不同薄膜厚度测量
光学薄膜测厚仪规格参数型号
SR100
SR300
SR400
SR450
SR500
SR600
探测器类型
CCD或CMOS阵列
CCD或CMOS阵列 InGaAs阵列
CCD或CMOS和InGaAs 阵列
CCD或CMOS和InGaAs 阵列 InGaAs阵列
波长范围 (nm)
190-1100
370-1100
950-1700
370-1700
190-1700
1000-2500
波长分辨率
0.01 -3nm
0.01 -3nm
3 to 6nm
0.01 to 3nm
0.01 to 3nm
3 to 6nm
厚度测量范围
5nm-50 µm
20nm-1000µm
100nm-300µm
20nm-200µm
5nm-200µm
20nm-300µm
厚度测量精度
< 1Å (1 sigma from 50 thickness readings for 1500Å Thermal SiO2 on Si Wafer)
厚度精度
better than 0.5% (comparing with ellipsometry results for Thermal Oxide sample by using the same optical constants)
反射探头光谱范围
DUV-Vis
Vis-NIR
NIR
VIS-NIR
DUV-Vis-NIR
NIR
样品台
黑色阳极氧化铝合金，样品高度可轻松调节，尺寸为200mmx200mm 工作距离
~ 25mm (从样品表面计算)
测量时间
0.1ms-10s,可设置定义
用户可设置定义
波长范围、波长点、积分时间、光谱平均数、平滑因子 接口
USB
计算机操作系统要求
Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10
计算机***低配置
P3 above with minimum 150 MB space, 2GB RAM; CD-ROM; at least 2 USB ports
供电要求
110– 240 VAC /50-60Hz, 1.5 A
光源
Deuterium + Tungsten Halogen
Tungsten Halogen
Tungsten Halogen
Tungsten Halogen
Deuterium + Tungsten Halogen
Tungsten Halogen
光源强度
Adjustable
Adjustable
Adjustable
Adjustable
Adjustable
Adjustable
灯泡寿命
4000 hrs.
10000 hrs.
10000 hrs.
10000 hrs.
4000 hrs.
10000 hrs.
光学薄膜测厚仪典型应用
半导体制造
液晶显示屏测量
刑侦
生物膜测量
矿石地质分析
制药医学分析
光学镀膜测量
功能薄膜MEMS测量
太阳能电池薄膜测量
