哈特曼测量仪

哈特曼测量仪Hartmannometer是为测量光学表面平整度设计的哈特曼分析计量仪器,是用方法和工作原理与菲索干涉仪 (Fizeau interferometer) 完全相同并且具有相同的性能。
哈特曼测量仪由激光束照射表面进行测量,用Shack-Hartmann波前传感器测量反射波前。
哈特曼测量仪的独特*点（与菲索干涉仪相比）
对振动不敏感
在振动下，哈特曼图上的斑点会围绕它们的平均位置移动。通过选择较长的曝光时间，振动下的光斑质心与无振动时相同。
现场测量
一旦要测量的光学表面对齐，就不需要启动采集程序。结果显示在现场。它使消除振动对测量的影响变得*加容易。
具有成本效益的技术
这是一种成本较低的技术，它不使用昂贵的高平坦度光学元件。

哈特曼测量仪技术规格
光谱范围             122nm~10.6µm
孔径                           集成扩束器后无限制
实测曲率                 集成补偿光学元件后无限制
精度                       λ/30 rms
横向分辨率              根据要求：通常为孔径的2/100
接口                           USB
哈特曼测量仪软件适用于Windows 10、8、7
实时显示Hartmanogram和波前分析：Zernike多项式（标准和条纹）、2D-3D条纹图、2D-3D相位图、2D-3D强度图、M2、PSF、波前P-V&RMS；实时监测参数。