光学表面测试仪

光学表面测试仪是为光学表面平整度测试设计的平整度测量仪,采用Shack-Hartmann波前传感器技术,激光束从被测光学表面反射后,进入Shack-Hartmann波前传感器进一步分析获得表面光学数据。
光学表面测试仪规格
•输入孔径：10~50mm（可选***大300mm）
•测量时间：10ms
•测量精度：0.032μm（P-V）
•测量像差P-V值：高达5μm
•光源-二极管激光器
•激光波长-0.65μm
•探测器：CCD/CMOS相机
光学表面测试仪测量结果如下：
•P-V和RMS
•像差扩展到Seidel和Zernike多项式（倾斜、散焦、像散等）
•条纹展示，二维和三维波前