无氦低温探针台

无氦低温探针台CPS-CF是为极低温探针测试设计的闭循环低温探针台系统,适合低温下对器件和电路进行探针测试。
无氦低温探针台CPS-CF内置隔振、智能热管理和热膨胀补偿机制,使该探针台具有广泛的应用能力，从纳米电子学（石墨烯研究、分子电子学等）到太空电子学都可使用。
该无氦低温探针台CPS-CF采用闭式循环制冷器和专有的热管理系统便宜快捷的操作。内置隔振器可将振动降至行业标准水平。超稳定的微操作台保证了精确和可重复的接触的设备探头尖端装置功能。广泛选择的探针和晶圆卡盘满足从超精密到射频测量的诸多应用。
无氦低温探针台CPS-CF特点
性价比高，稳定可靠，使用方便。
低温晶圆尺寸测试和低温半导体测试。
温度范围从4K到480K（0.1K或*高精度）。如果配备不同的CCR，则可提供不同的范围。
闭式循环制冷器，无制冷剂运行，经济高效。
适合经营直径达1英寸、2英寸、4英寸、6英寸或8英寸晶圆的低温设备特性（取决于型号）。
直流到67GHz以上的测量采用单CCR解决方案，110GHz以上的测试采用双CCR解决方案。
4个微操作探针臂（可选配置中***多8个），具有高度精确的XYZ和可选的θ (用于RF和楔形直流探头）调整。
热锚定探针头。
可选的一级冷却辐射快门和一级冷却蓝宝石视窗。
温控辐射屏蔽
清晰的顶部视窗（可选择高纯度石英）。
高频振动阻尼

无氦低温探针台CPS-CF可选项
样品尺寸：不超过25mm、50mm、100mm、150mm或200mm。
无制冷剂闭式循环制冷器，包括冷头、压缩机、冷却器和所需的氦软管。
温度范围：标准10K至400K，可选4.2K至480K。
温度精度：0.1K或*高。
热锚定探针臂和辐射屏蔽。
温控样品卡盘。
卡盘和探针臂的温度监控。辐射屏蔽和冷冻头的温度监测是可选的。
真空基准压力（当CCR关闭时）1.0x10-5托标准，可选择降至10-6托以下（当CCR打开时，可实现压力降至10-8托以下）。也提供超高压版本。
窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可供选择。
显微镜：有多种选择。
相机：100万到1000万像素的数码相机。用于图像和视频捕获的软件，以及相机附带的尺寸测量功能。