专业手动探针台

这款专业手动探针台是专业为晶圆测试设计的晶圆测试探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆测试需要,工作温度-60℃~350℃,特别适合晶圆高温和低温环境下温度特性测试。
专业手动探针台特点
可选择8''晶圆和12''晶圆配置
工作温度-60℃~350℃
可配备护罩，防止露水凝结
可配备护罩，提供较低噪音环境
使用空气快速定位的测微计进行粗略移动和微调
压盘的Z运动有粗运动和细运动，粗运动可以用杠杆操作可以用千分尺调整。
专业手动探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试：20KV DC/200A
RF测试
各种电阻测量，如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试，如TDDB
专业手动探针台可选配件
Thermal chuck from -60°C to +350°C
探针卡（4.5''方形PCB板）
各种光源
三目显微镜（标配体视显微镜）
CCD相机
专业手动探针台可以连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
专业手动探针台规格参数

型号	α200CS	α300CS
晶圆卡片尺寸	~8英寸	~12英寸
位移台行程（粗调）	X:200mm, Y:200mm	X:320mm, Y:320mm
位移台行程（精调）	X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜	X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜
位移台Theta角范围	±5°	±4°
Z轴位移台行程	0-0.3-0.5mm	0-0.3-0.5mm
Z轴位移台行程（精调）	10mm	10mm
尺寸	W690×D780×H620㎜	W965×D930×H700㎜
重量	80kg	165kg

专业手动探针台应用