光电测试探针台

这款光电测试探针台是专业为8英寸和12英寸晶圆光电流测试设计的专业半自动变温光电探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆变温光电测试需要,测试温度范围-60~350℃,特别适合高温和低温环境下晶圆变温测试和射频测试,可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准。
光电测试探针台特点
可选择6'',8''晶圆和12''晶圆配置
测试温度：-60℃~350℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
可选择芯片固定配件
可配备护罩，防止露水凝结
可配备屏蔽罩，提供较低噪音环境
配备专用测试软件，提高晶圆测试效率
采用图像识别技术，可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准

光电测试探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试：20KV DC/200A
RF射频测试
高功率器件测试20kV DC/200A
各种电阻测量，如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试，如TDDB
光电测试探针台可选配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割机
各种光源
三目显微镜（标配体视显微镜）
CCD相机
Probe card (4.5 inch square PCB)
光电测试探针台可连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
光电测试探针台规格参数

型号	AP-200	AP-300
晶圆卡片尺寸	~8英寸	~12英寸
XY位移台行程（粗调）	X:200mm, Y:400mm	X:320mm, Y:500mm
XYZ位移台控制精度	0.1μm	0.1μm
XYZ位移台重复定位精度	±2μm	±3μm
XY位移台精度	±5μm	±10μm
XY位移台移动速度	30㎜/sec(Max)	25㎜/sec(Max)
Z位移台行程范围	30mm	80mm
Z位移台移动速度	25㎜/sec(Max)	25㎜/sec(Max)
位移台θ范围	±5deg	±6deg
θ分辨率	0.001度	0.000022294deg
尺寸	W760×D1000×H1020㎜	W880×D1260×H1030㎜
重量	400kg	800kg