这款
半自动晶圆探针台广泛用作分析
探针台和RF
探针台,可测试100mm晶圆,性价比高
,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件
探针台测试和晶圆
探针台测试应用。
半自动晶圆探针台特色
电动XY样品夹盘,步进电机高精度控制
适合低于0℃的测试应用或者屏蔽RF的应用
样品台，行程范围125mm x 125mm
加载或卸载晶圆非常方便
精密电控XY
位移台和台板
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维
位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
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半自动晶圆探针台规格参数
适合晶圆大小：100mm （125mm可选）
电动XY
位移台： 行程范围125mm x 125mm， 分辨率1.5um
台板行程：12.7mm 或*大，
台板调整：带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度：<+/-12.7um @150mm长度
台板刚度： <50um @4.5kg
样品夹盘规格
真空：多区真空
平面度：+/-13um
击穿电压：500V
隔离度：1G欧姆
调整：360度粗调， +/-6度微调
显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级
位移台）
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重：85kg ~95kg (根据所选不同配件）
