线性位移平台-300mm/50kg

这款线性位移平台是大负载线性直驱位移台,采用光学编码器,具有独特的载重能力强,平移精度高,重复精度高和摩擦低的特点。
线性位移平台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。
线性位移平台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及*良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。
线性位移平台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。
线性位移平台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动XY二维平移台,无需使用任何连接板。
线性位移平台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。

图1：线性位移平台实物图
线性位移平台特点
超精密位移运动能力
直接驱动无反冲backlash系统
高分辨率非接触式光学编码器
高精度线性导向和运载系统
超长使用寿命
方便集成到各种平台或光学机械系统中
XY二维位移台的正交性高达<=5arcsec
非常适合光学延迟线应用
线性位移平台规格

行程范围	300mm
编码器类型	光学编码器
编码器型号	LEn1
编码器分辨率	25nm~5um任意指定(典型值25nm,50nm,100nm,200nm)
编码器接口	差分RS422
放大系数	4-200任选
编码器光栅周期	20um
参考标记 (Index)	Yes
绝对精度2)
标定前	±10µm
标定后	±1µm
单向重复精度	N/A
双项重复精度（peak-peak)2)	±0.5µm
双项重复精度(RMS) 2)	±0.24µm
Pitch 3)	±30 / ±6.20 µrad/arcsec
Yaw 3)	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Roll	N/A
***大速度 (负载4Kg) 4)	<2000mm/s
***大加速度 ((负载4kg) 5)	<20000mm/s^2
安全限位开关 (Safety)	Optical (Optrons)
安全限位开关极性	Pushed is closed
限位开关电压	5…24V
负载导向信息
类型	线性电机平移台
电机类型	LM3
电机设计类型	无铁BLDC Motors
***大Bus Voltage	>300VDC
***大负载 (中心放置) 6)
水平	50kg
运动质量 7)	2.6kg
导向系统	循环直线轨道和载物滑块单元
材料和外壳信息
外部材料	铝合金
外壳处理	黑色阳极氧化
环境压力	标准大气压
工作温度	20±2°C
控制器
推荐控制器 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推荐驱动器  8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
推荐电源 9)	Request Standa support
推荐通讯接口 12)	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
线缆长度	2m
差分输出 10)	On request
配件
底板	不需要
XY二维平移台系统搭建	直接搭建,不需要安装适配板
Z轴竖直平移台搭建	不可以
外形尺寸
移动台尺寸 (W x L)	170 x 170mm
外形尺寸 (W x L x H)	220 x 553 x 70mm
公制或英制	公制 / 英制均可提供
XY二维平移台正交性 11)	24/5 µrad/arcsec
防护处理 13)	基础防护
RoHS	满足
重量	13.5kg

1)  默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)绝对精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) ***大速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)***大加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m₀,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能**的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。