真空电控XY直线平移台

真空电控XY直线平移台是为真空环境应用设计的电控XY直线位移台和真空电控XY平移台,的行程范围是300x300mm,采用不锈钢轨道设计,具有极强的稳定性和刚度,采用了循环滚珠系统球模块保证运动精度。还可提供相同配置的非真空位移台使用。
真空电控XY直线平移台产品规格
位移行程
    X轴         300 mm
    Y轴         300 mm
 分辨率
     整步           2.5µm
     1/8步        0.31µm
 丝杠螺距    0.5 mm
 ***大速度    8 mm/s
 载重量
    水平           10kg
    垂直           按要求设置
电机                V423
 电源电压     36V