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高精度电动XY线性平移台
高精度电动XY线性平移台是一款高精度直接驱动线性位移台,采用光学编码器和3相无铁直线无刷伺服电机确保了平移台高精度,高可靠性和低磨损,零反冲backlash。行程范围120x120mm,绝对精度< ±0.5µm, 双项重复定位精度(RMS)±0.1µm,***大速度<1000mm/s,水平载重30kg。编号：FPSTA-8MTL120XY价格：￥0.00数量：在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询，孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您！ -
- 商品详情
高精度电动XY线性平移台是一款高精度直接驱动线性位移台,采用光学编码器和3相无铁直线无刷伺服电机确保了平移台高精度,高可靠性和低磨损,零反冲backlash。
高精度电动XY线性平移台采用线性旋转非接触式编码器作为反馈系统,确保了非直接控制定位,精度高达压纳米分辨率。
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高精度电动XY线性平移台采用自然时效铝合金确保高温稳定性和柔软性,以及良*的长周期运动学特性,做到导向系统无漂移。特殊的导轨带有滚珠轴承确保该平移台且经久耐用。
高精度电动XY线性平移台标准品可以用于真空度达到10^-3Torr的真空环境，并可提供适用*高真空度的产品,也可根据用户要求提供*高洁净度的产品。
高精度电动XY线性平移台可以很快连接到光学平台上,可直接搭建成电动XY二维平移台系统,并具有良*的正交特性。
对于工业应用,电动XY线性平移台即可安装到各种光学平台，也可以安装到高平整度大理石龙门架上,保证高精度位移和平移定位应用。
高精度电动XY线性平移台特点
直接驱动电机技术
零反冲backlash
高分辨率非接触式光学编码器
超低剖面,线性电机
高精度线性导向系统带有交叉滚珠轴承,具有抗蠕动性能
容易集成到公制或英制学机械中
默认正交性能高≤5arcsec
高精度电动XY线性平移台规格参数轴数 XY二轴二维系统 行程范围 120x120mm 编码器类型 光学编码器 编码器型号 Len1 编码器分辨率 25nm-5um任意,根据用户要求制定 编码器接口 差分RS422 放大系数 N/A 编码器光栅周期, 72mdeg 参考标记 (Index) Yes,4-200根据用户要求定制 绝对精度2) 标定前 ±4µm 标定后 < ±0.5µm 单向重复精度 N/A 双项重复精度（peak-peak)2) *于±0.15µm 双项重复精度(RMS) 2) ±0.1µm Pitch 3) ±30 / ±6.2µrad/arcsec Yaw 3) ±30 / ±6.2µrad / arcsec Roll N/A ***大速度 (负载4kg) 4) <1000mm/s ***大加速度 ((负载4kg) 5) <20000mm/s^2 安全限位开关 (Safety) Optical (Optrons) 安全限位开关极性 Pushed is closed 限位开关电压 5…24V 负载导向信息 导向类型 线性电机，平面类型位移台 电机类型 LM3 电机设计类型 Internal Rotor BLDC Motors (3 phase) ***大Bus Voltage >300VDC ***大负载 (中心放置) 6) 水平 30kg 运动质量 7) X轴3kg,Y轴8.5kg 导向系统 交叉滚珠轴承带有笼式飘逸保护 材料和外壳信息 外部材料 铝合金 外壳处理 黑色阳极氧化 环境压力 标准大气压 工作温度 20±2°C 控制器 推荐控制器 8) ACS Products Line or 8SMC5-USB series 推荐驱动器 8) ACS Products Line or 8SMC5-USB series 推荐电源 9) Request upport 推荐通讯接口 12) EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP 线缆长度 2m 差分输出 10) On request 配件 底板 不需要 XY二维平移台系统搭建 直接搭建,需要安装适配板 Z轴竖直平移台搭建 可以 外形尺寸 移动台尺寸 (W x L) 240 x 240mm 外形尺寸 (W x L x H) 240 x 360 x 75mm 公制或英制 公制 / 英制均可提供 XY二维平移台正交性 11) 24/5 µrad/arcsec 防护处理 13) 基本处理 RoHS 满足 重量 12.5kg 1) 默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)绝对精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) ***大速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)***大加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能**的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。
