XYZ真空位移台

XYZ真空位移台是为真空环境下三维位移和三维定位设计的三轴真空位移台,采用微米驱动螺钉实现高灵敏度,在XYZ轴的移动范围是15mm,具有非真空XYZ位移台供选择。
XYZ真空位移台配置
公制7T38V XYZ真空位移台配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移台台配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移台规格
移动范围   15mm
 灵敏度      1µM
 跟踪精度  2µM
 刻度步进   10µm
 负载能力        5kg
 重量            1.35kg