大能量准分子激光器

这款大能量准分子激光器是为大能量紫外激光应用设计的大功率准分子激光器,非常适合脉冲激光沉积PLD等应用,193nm波长的激光脉冲能量高达150mJ,248nm的激光脉冲能量高达250mJ.
大能量准分子激光器特点
具有20Hz,50Hz,100Hz重复频率供选择
单激光器即可产生大功率大能量激光
光束发散角小
计算机可控制
抖动小到<2ns 
•***强准分子激光器
•极*的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学器件
•电晕预电离技术
•车载真空泵
大能量准分子激光器应用
•替代医用激光器
•脉冲激光电离激发
•准分子激光微纳加工
•精密激光标记
•屈光手术
•拉曼光谱激发源
大能量准分子激光器规格
工作物质                     F2      ArF       KrF      XeCl     XeF
波长nm                       157     193       248       308     351
***大能量mJ                20       125       250       125    100
平均功率W@20Hz     0.4     2.5       5         2.5         2
平均功率W@50Hz     0.9     5       12           4          4.5
静态气体寿命     10天    20天   30天     6个月   30天
激光窗口寿命                         100E6
重复频率                     20Hz和50Hz
脉度                         20-26ns
光束尺寸               19x 7 mm        V x H
稳定性                      <2%标准偏差
光束发散角                      3x 1.2 mRad全角
冷却                             空气/水
激光管寿命                     >10亿脉冲
电源                   20Hz 95-240 VAC, 3/ 6 A, 47/63 Hz           50Hz 208-240 VAC, 5/10A, 47/63 Hz
超大能量准分子激光器规（增强版）
工作物质                         F2        ArF           KrF       XeCl     XeF
波长nm                           157      193        248         308       351
***大能量mJ                    22       200         1J         200     125
平均功率W@20Hz     0.4         3.0         10         3.0       2.0
平均功率W@50Hz     0.9          6                          6            4
静态气体寿命            10天    20天       30天      6个月    30天
（50%能量）
脉宽                         18-22ns
腰斑尺寸                    19x 7 mm     
稳定性                         <2%标准偏差
光束发散角                      3x 1.2 mRad
定时抖动                     +/-2ns
冷却                          空气/水
激光管寿命                     >10亿脉冲
重量                         80kg
尺寸                     1420 X 430 X 330 mm