193nm准分子激光器

这款193nm准分子激光器是ArF激光器和深紫外激光器的代表产品,适合准分子激光医学,科研和激光应用。193nm准分子激光器是良*的紫外光源,脉冲能量高达6mJ，脉冲重复频率高达1000Hz。
193nm准分子激光器是市场上使用寿命***长、可靠性***高、运行成本***低的紫外激光器,其良*的能量稳定性使其非常适合紫外激光医学和科研等要求较高的应用。
193nm准分子激光器主要特点
坚固设计
电晕预电离
固态电路
管道技术
激光能量监测
紧凑型准分子激光器,单相电
高可靠性
均匀光束轮廓
即时可用，无老化
全金属密封管
数十亿脉冲的超长寿命
激光能量稳定
易于操作，易于集成

193nm准分子激光器参数
 工作物质                                      ArF   ArF   ArF    
波长（nm）                                 193   193   193   
***大重复频率（Hz）    200   500   1000   
稳定脉冲能量（mJ）     6     6      6     
稳定脉冲功率（W）    1.2   3.0    6.0   
能量稳定性（sigma,%）         2        2         2   
光束尺寸（FWHM,V x H mm）6x3    6x3     6x3  
光束发散（FWHM,V x H mrad）2x1   2x1    2x1  
脉宽（FWHM）（ns）   5-10  5-10     5-10  
规格如有*改，恕不另行通知