窄线宽准分子激光器

窄线宽准分子激光器是专业为光谱学应用设计的窄光谱带宽准分子激光器,非常适合光刻,激光计量,荧光光谱,拉曼光谱,FBG等应用。
窄线宽准分子激光器采用稳定的非选择性谐振腔提供纯净光谱输出,例如ArF准分子激光器的带宽约500pm,我们还可以在谐振腔内插入波长色散元件提供*窄线宽的表现，比如光谱线宽可到0.08pm,具有**的相干性能。
窄线宽准分子激光器EX50LN采用超级INVAR稳定谐振腔技术获得稳定的激光性能,248nm激光的相干长度可达7cm，并且具有良*的指向稳定性,非常适合长相干长度的激光激光应用，比如FBG制造.
这款窄线宽准分子激光器采用一系列创新性技术,包括电晕预电离技术，全金属/陶瓷设计，提供超长静态气体寿命和动态气体寿命。这款准分子激光器还采用内置真空泵和卤素过滤器,不需要额外的真空器件即可独立工作,
窄线宽准分子激光器可以通过计算机配套软件控制,软件可自动控制稳定激光输出，可提示用户激光器寿命和维护时间。
窄线宽准分子激光器规格参数EX50LN Specifications

工作物质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
中心波长 nm	157	193.3	248.35	308-311	351, 533
***大能量mJ. <1pm		2	4	2	2
***大能量mJ. <0.35pm	1 Line	0.75	2
波长调谐范围 pm		+/- 200	+/-200	N/A
平均功率@125Hz		0.30	.25	0.3	0.3
平均功率 @250Hz		0.5/1	.5/1	0.50	0.5
平均功率@500Hz		1/2	1/2	1.0
功率稳定性 %	Call	<3%
动态气体寿命 （50%脉冲能量）	10E6	12E6	15E6	20E6	15E6
静态气体寿命 （50%脉冲能量）	10 days	20 days	30 days	90 Days	30 Days
脉宽, ns	14-18
光束直径, mm	9 X 4
发散角, mRad （全角）	0.8 X 1.6
激光管寿命	2-3 Billion Pulses
窗口寿命	200E6	>500E6	>500E6
制冷	空气/水

其它窄线宽准分子激光器 EX5ALN Specifications

工作物质	ArF	KrF
激光波长, nm	193	248
***大能量, mJ	5	15
线宽 pm	25	20
光束形状	高斯光束
波长调谐	+/-200pm	+/-200pm
平均功率W @ 25Hz	0.1	0.3
平均功率W @ 250Hz	1.0	2.5
***大重复频率. Hz	25/250
稳定性	<3% 1 Sigma
静态气体寿命 50%能量	3 days	10 days
脉宽 nS	8
稳定性	<3% One Sigma
激光管寿命	1000 Million Pulses
光束尺寸, mm	3X 6
发散角（全角）, mRad	1 X 2
制冷	AIR
抖动	2nS
重量	16kg

其它窄线宽准分子激光器 EX10AR Specifications

工作物质	ArF	KrF
波长, nm	193nm	248nm
***大能量., mJ	20mJ	26mJ
线宽, pm	<20pm	<20pm
光束形状	高斯光束
波长调谐范围	+/-200pm	+/-200pm
平均功率W@ 25Hz	0.1	0.3
平均功率W @ 250Hz	1.0	2.5
重复频率 Hz	25/250
稳定性	<3% 1 Sigma
静态气体寿命50%能量	3 days	10 days
脉宽 nS	8
稳定性	<3% One Sigma
激光管寿命	1000 Million Pulses
光束尺寸, mm	3X 6
发散角（全角）, mRad	1 X 2
制冷	空气
时间抖动	2nS One Sigma
重量	16kg