这款高压溅射PVD系统是为晶圆溅射金属膜,磁性材料,多组分氧化物应用设计的高压物理气相沉积系统,得益于它灵活的配置和*殊的晶圆加热器设计,PVD可以在温度***高900℃的衬底上溅射金属膜层和磁性材料,***大容纳晶圆直径为150mm,订制后***大可容纳200mm直径晶圆。

这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,feichang适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。

三腔室分子束外延系统是带有三个MBE分子束外延生长腔室的异质结材料MBE生长设备,可用于在高达∅100mm的衬底上以及三个2英寸以上衬底上一次精确生长外延层,获得极*的厚度和均匀性能。三腔室分子束外延系统使用PA-МВЕ和NH3-MBE*殊型号的MBE生长设备,可生长InAlGaAsSb或InGaAlN外延异质结构。

这款III族氮化物分子束外延系统zhuanye为A3N材料生长设计的MBE设备,适合氨气高温下制备生长A3N半导体材料,提供feichang广泛的可用生长参数（有效氮通量、衬底温度、生长过程中的真空度）。III族氮化物分子束外延系统设计在衬底上提供极高的温度（>1200℃）以及在长生长周期中加热阶段的可靠工作。利用氨作为活性氮源，可以生长出高质量、厚的AlN/AlGaN缓冲层。这项技术的结果是生长出位错密度极低的活性层，为分子束外延（MBE）创造了记录。

这款多功能紧凑型MBE系统具有三个腔室,适合用于А3В5, 宽带А2В6  和А3N 化合物（订制版本）的生长,MBE系统设计吸收了这些材料系统中分子束外延的***新成果,feichang适合用于半导体材料领域中基于А3В5 宽带А2В6和III氮化物的材料生长研发。

这款VUV罗兰圆光栅光谱仪在圆柱形罗兰表面放置了一个*殊的MCP探测器,feichang适合采集时间分辨率VUV光谱和时间分辨真空紫外光谱。

EUV等离子体光谱仪是zhuanye为光谱范围高达40nm的EUV等离子体*性测量而开发的VUV光谱仪,feichang适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪。

这款X射线光谱仪是紧凑而灵敏的X射线分光摄谱仪器,适合低强度X射线辐射源的**光谱测量、X射线荧光分析、EXAFS等科研应用,可**校准标定,具有宽光谱范围和较高光谱分辨率的*势。feichang适合低强度X射线辐射源的**光谱测量、X射线荧光分析、EXAFS等应用。

XUV/VUV极紫外光谱仪是一款掠入射XUV-VUV光谱仪器和极紫外光栅光谱仪器,feichang适合表征测量短脉冲激光发射。适合探测6eV到210eV能量范围。**光学强度和光谱校准后，可精确测量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）发射的紫外光子数以及等离子体表面或气体介质中的高次谐波产生。

这款真空紫外MCP探测器采用选通门控MCP微通道板探测器技术，常用作X射线成像MCP探测器,用于X射线成像探测和真空紫外VUV成像探测,

这款激光等离子体EUV光源是采用激光诱导等离子体LPP技术制造的LPP-EUV光刻光源,具有超高亮度和超低碎屑debris***势,feichang适合取代Cymer公司LPP-EUV极紫外光源用于光刻。

这款宽带等离子体光源XWS是激光泵浦等离子体超亮度光源,输出光谱范围180nm ~2500nm,输出光功率高达40W,可替代传统气体放电光源（如氙灯、氘灯、钨灯等）以及LED光源,具有*宽的光谱范围和*高的光谱亮度。

这款穆勒矩阵偏振测量仪Mueller Polarimeter采用斯托克斯偏振分析测试仪和Spectroscopic Polarimeter,可测量400nm~800nm范围每个波长的偏振态。该穆勒矩阵偏振测量仪还具有双折射偏振测试、斯托克斯偏振测试和映射mapping测量等功能，可测量线二色性（线偏振光吸收），圆二色性（圆偏振光的吸收），线性双折射,相移（线性⇔圆偏振）,旋光,线偏振的旋转,去偏振降低DOP。

这款双折射偏振态测试仪是多功能光谱偏振态测试仪,Spectroscopic Polarimeter,可测量400nm~800nm范围每个波长的偏振态。该双折射偏振态测试还具有斯托克斯偏振态分析、穆勒矩阵测量和映射mapping测量等功能，feichang适合液晶显示器、投影仪、偏振光学元件、偏振光学、晶体、生物样品、荧光偏振等偏振态测量分析。

斯托克斯偏振测量仪是多功能光谱偏振仪,Spectroscopic Polarimeter,可测量400nm~800nm范围每个波长的偏振态。该斯托克斯偏振测量仪还具有双折射、穆勒矩阵测量和映射mapping测量等功能，feichang适合液晶显示器、投影仪、偏振光学元件、偏振光学、晶体、生物样品、荧光偏振等偏振态测量分析。

荧光寿命荧光光谱系统采用时间相关单光子计数（TCSPC）模块测量荧光寿命和荧光光谱,可以测量从纳秒到微秒的荧光寿命,实现了荧光光谱PL测量和PLE测量。

3D共聚焦显微拉曼光谱仪Phalanx-R是商用多点共焦扫描显微拉曼光谱仪器,可获得实时地二维拉曼图像,可实时地观察物质或活细胞中随时间变化的时间分辨的化学反应或变化.

3D显微镜激光拉曼光谱系统是综合性多功能高端显微拉曼光谱系统,可实现拉曼与原子力显微镜联合测量,进而提供3D激光共聚焦拉曼功能和AFM-Raman/TERS针尖增强拉曼光谱功能。

三维激光显微共聚焦拉曼光谱仪是一种高灵敏度和高空间分辨率的拉曼共焦光谱仪系统,它可以进行三维拉曼成像,横向空间分辨率高达200nm，轴向分辨率高达500nm。

这款高灵敏度高分辨率3D成像拉曼光谱系统是一款高灵敏度和高分辨率的3D激光拉曼显微光谱系统,具有200nm超高分辨率的拉曼光谱扫描功能,