三轴组合升降台

三轴组合升降台是一种电控三维升降组合台,采用电动垂直升降台搭建,它能够Z轴方向垂直升降并可在XY平面二维位移移动,载重量高达4kg,Z轴垂直升降高度100mm，XY方向移动行程范围25mm。
三轴组合升降台规格
 Z轴分辨率：
     全步        2.5 µm
    1/8步           0.31 µm
 Z轴移动        100 mm (8MT200-100)
 XY轴分辨率：
     全步        5 µm
    1/8步           0.625 µm
 XY轴移动    25 mm (8MT167-25BS1)
 载重量            4 kg