晶圆装卸操作台

晶圆装卸操作台是专业为4英寸晶圆装卸,晶圆搬运,晶圆取放等晶圆操作操纵设计的晶圆装卸定位台系统。它采用XYZ三维定位台和360度旋转台集成而成。
晶圆装卸操作台具有微纳定位功能,可集成为自动化晶圆装卸机器人手臂，具体配置请联系我们。