六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。
六维并联微动平台P-SLL采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
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六维并联微动平台P-SLL规格参数
分辨率<1nm
***大负载：1000g (10N)
***大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
***大垂直载荷Fv:10N
***大水平力Fh:5N
定位器尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3
重量:≈ 300 ~2000 g
行程范围：
x- 20 ~ 1200 mm
y -45~119 mm
z -≤ 16 mm
Θx：≤42 °
Θy：≤ 33°
Θz：≤42 °
带纳米传感器-S闭环
***小增量（x，y，z）：1nm
***小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重复精度(xyz全行程）：±200 nm
重复精度(Θxyz全行程）：±10urad
重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
材料和真空可选项目
纳米级距离编码传感器
非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
*多六轴并联定位平台应用案例
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