纳米定位台系统

纳米定位台系统采用纳米直线位移台和纳米旋转台搭建成各种纳米定位系统,包含了二维XY纳米定位台,三维微操作定位台,三维XYZ纳米定位台,多角度旋转定位台系统。
XY纳米定位台是二维电动纳米定位台,采用两个纳米线性定位器在XY方向正交堆叠组成,***大可提供51x51mm^2的工作面积,可以用于超高真空环境,并可以在此基础上升级到XYZ三维纳米定位台系统。


多角度旋转定位台系统
多角度旋转定位台系统采用SR2812纳米旋转台提供超纳米级高精度多角度定位和欧拉角定位,三个欧拉角方向都可给出纳米定位精度,工作面积可覆盖360° x 180° x 360°。该多角度旋转定位台系统可用于超高真空环境，且具有多种负载能力的配置供用户选择。

三维微操作定位台
三维微操作定位台采用2个SLL线性位移台和1个SR7012旋转定位台组成,非常适合各种样品的3D微操作定位,负载300g,在垂直,水平和任何混合方向都可提供250mm行程。这套三维微操作定位台精度高达纳米量级,可用于超高真空环境,非常适合SEM样品定位等扫描电镜样品定位。
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三维XYZ纳米定位台
三维XYZ纳米定位台采用直线纳米定位台搭建而成,可提供典型的工作面积为21 x 21 x 21 mm³，也可采用其它规格的纳米定位台组成各种XYZ三维定位台系统。XYZ三维纳米定位台结构紧凑，非常适合各种精密三维操作定位，适合超高真空环境。