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六轴并联位移台
六轴并联位移台110.45采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。分辨率<1nm,,***大负载：500g (5N),***大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程）±10urad编号：FPSMAR-POD110.45价格：￥0.00数量：在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询，孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您！ -
- 商品详情
六轴并联位移台110.45采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。六轴并联位移台110.45采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。行程范围：
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六轴并联位移台110.45规格参数分辨率<1nm
***大负载：500g (5N)
***大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
***大垂直载荷Fv:5N***大水平力Fh:2.5N定位器尺寸:Ø 110 x 45 mm3重量:约400克x- 20 mmy -20 mmz -11 mm材料和真空可选项目
Θx：21 °
Θy：24°
Θz：38 °带纳米传感器-S闭环***小增量（x，y，z）：1nm***小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重复精度(xyz全行程）：±200 nm重复精度(Θxyz全行程）：±10urad重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm纳米级距离编码传感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
*多六轴并联定位平台应用案例
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