-
-
晶圆定位台
晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。编号：FPSMAR-wafer200价格：￥0.00数量：在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询，孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您！ -
- 商品详情
晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有*紧凑结构,*高刚性,*低的运动质量和*高的响应速度。晶圆定位台Wafer200采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。行程范围：
![$title]( "$title")
晶圆定位台Wafer200规格参数分辨率<1nm
***大负载：2000g (20N)
***大真空度:10^-11mbar
***大垂直载荷Fv:10N定位器尺寸:420 x 430 x 93 mm3重量:≈ 11 kg
x- 200 mmy -200 mmz -10 mm材料和真空可选项目
Θx：6 °
Θy：7°
Θz：24 °
带纳米传感器-S闭环***小增量（x，y，z）：1nm***小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重复精度(xyz全行程）：±200 nm重复精度(Θxyz全行程）：±10urad重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm纳米级距离编码传感器-高真空HV (10-6 mbar)
*多六轴并联定位平台应用案例
![$title]( "$title")
